拋光完工后光學(xué)零件的檢驗(yàn)
發(fā)布時(shí)間：2021-09-15
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光學(xué)零件加工完工后的檢驗(yàn)全為面型檢驗(yàn)與表面質(zhì)量的檢驗(yàn)。面型檢驗(yàn)是指檢測(cè)拋光完成后的光學(xué)零件的曲率半徑是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求，是否存在局部誤差。表面質(zhì)量所要檢測(cè)的是光學(xué)面是否存在表面瑕疵，角度、平行度是否達(dá)到要求等。拋光完成后的光學(xué)零件與光學(xué)設(shè)計(jì)的面型極為接近，再者之間的差距以光波長(zhǎng)計(jì)，如λ/2，甚至更小，如λ/10.對(duì)于這樣高精度的拋光表面常用干涉圖樣法和陰影法檢測(cè)。
- 凸凹透鏡上一個(gè)：
- 光學(xué)零件的膠合下一個(gè)：
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